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新型激光比长仪实现激光干涉仪等仪器动态高精度校准蝶阀

蝶阀    仪器    
2019年11月28日

日前,由中国计量科学研究院(以下简称“中国计量院”)联合常州市计量测试技术研究所等单位研制的2台“新型多功能1m激光比长仪装置”,分别在江苏省常州市计量测试技术研究所、无锡市计量测试中心实验室完成线纹尺测量精度测试。装置实现了线纹尺测量不确定度U=(0.1+0.1L)μm(k=3,L:m),重复性优于30nm,达到了国内先进水平,可以满足目前已有线纹尺的动态高精度校准,有效提升了相关计量技术机构的一维长度精密测量能力水平。

装备制造业是常州、无锡等长三角地区城市的传统和优势产业,近年来更朝着“技术含量高、附加值高”的高端装备制造方向发展。这对制造业的“眼睛”——长度几何量测量的精度、范围、种类等提出了新的更高要求。为此,中国计量院、常州市计量测试技术研究所牵头,联合无锡市计量测试中心、长春理工大学、中航工业青岛前哨精密仪器有限公司等多家单位,开展了“新型多功能1m激光比长仪”的研制,旨在为常州、无锡计量技术机构分别搭建一套多功能、可扩展的一维精密测长设备和科研实验平台,提升其对周边地区高端制造业在线纹尺等长度标准器校准以及其它长度几何量精密测量方面的服务能力。

据中国计量院孙双花副研究员介绍,装置借鉴了中国计量院“激光干涉比长仪线纹工作基准”的精密激光干涉测长、高精度光电显微镜动态瞄准、精密气浮控制等关键技术,可以实现线纹尺、激光干涉仪及位移传感器等的动态高精度校准。装置主体采用天然花岗岩结构,基于变形分析和建模进行了精心设计,床身尺寸3.4m×1m×0.7m,整体重达9吨,导轨直线度实测优于1μm/m,可有效避免移动工作台运动导致的机械变形,抗震性能好,长期稳定性优。此外,显微镜工作距离达到28mm,适用于各种厚度的线纹尺刻线面朝向物镜或背向物镜检测,线纹尺校准与其使用状态一致,保障了量值传递的精度和可靠性。

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